LED显示屏系统保护以及可靠性设LED显示屏系统所涉及的产品都经过防酸雨、防盐雾、防水、防潮、防尘、防燃烧、防腐蚀等处理,符合盐雾试验要求,即使在海洋性气候的条件下,屏幕也能够长期正常使用。三防措施:所有LED显示屏系统电路板在生产
3 检测结果
我们从检测厚度为0.2μm的动态沉积膜CoZrNb的过程中,显示出了CoZrNb膜的良好软磁性能,观测到了精确规定的面贴片电感生产厂内单轴各向异性,而且HK值异常的大(典型值达75oe)。易磁化轴的取向与溅射过程中基片运动的方向一致,4πMs为1一体成型电感制造商3KG,Hc很小(Hc<5oe)。测得磁膜的电阻率在150μΩ·cm左右。图2所示为在难磁化轴(HA)方向上测得的高频磁导率谱线,其结果与LLG模拟吻合,测得的FMR频率为2.6GHz,与用式(1)计算得出的值一致。此外,检测发现,动态沉积的磁膜还显示出低的高频损耗,用于1.5GHz工作频率时的品质因数Q值为Q=μ'/μ"=5。
磁膜用于集成功率电感器时的另一个重要参数是其厚度,磁膜厚度在增强磁通方面起着关键作用。但是,由于磁膜的电阻率ρ受到限制,而膜厚受到涡流损耗的影响,所以要找到一个折衷的办法。
以下介绍动态沉积CoZrNb磁膜材料的高频磁性能与膜的关系。图3和图4分别示出了0.1、0.25、0.68μm厚度磁膜的微波磁导率谱线。在图3中可以看到,厚度为0.1μm的磁膜呈现出常规的旋磁效应,检测到有共侧单峰。对于0.25μm厚度的磁膜,可看到这个峰值的展宽状况。与其相反,0.68μm厚度的磁膜没有呈现出这个单峰。如图4所示,在这种特殊情况下,出现了复杂的多共振行为。可以确切地认为,这种磁导率谱线的剧烈变化与看到的条畴状磁滞回线(图4中没有显示出来)有关系。因此,这里应用于集成电感器项目的动态溅射沉积的CoZrNb膜的厚度比较小(一般为0.3μm),超过这个厚度时,其各向异性不利于高频应用。磁膜集成电感器的另一个重要性能指标是磁膜的热稳定性。我们用0.22μm厚度的CoZrNb磁膜对此指标进行研究,这种厚度的磁膜具有最佳的高频特性。图5和图6所显示的是经垂直或平行磁场中退火之后矫顽力Hc和各向异性场HK的渐变过程。从图5、图6中可以看出,经过2小时加磁场真空退火后,到300℃时没有看到Hc和HK相对于磁膜的沉积状态有多大变化。可是,在350℃左右时Hc增大,还可看到HK的不可逆损耗。这种剧烈变化的原因,可能与磁膜从非晶态向结晶态的结构变化有关。另外,实验与检测发现,与传统的静态沉积磁膜在磁场中退火比较,动态沉积的CoZrNb磁膜的平面各向异性更耐在平行磁场中退火,因为前者在200℃左右往往会遭遇易磁化轴的旋转。
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