变压器产业的发展变压器产业的发展 随着我国经济的加快发展,近年来,电力市场的电力设备,尤其是配电变压器的需求量日益增长。这一产业趋势为广东西屋电气有限公司等国内变压器生产厂家带来了可喜的重要机遇,电动车、等大功率市
PGS技术是图案化接地屏蔽技术。采用格状接地屏蔽来减少衬底效应,它是由许多从中心向四周发散的金属条组成,同电感金属线相垂直。图案化接地屏蔽阻止同基底之间的容性耦合,并且又避免了磁通量的短路,大大减小了从基底到电感的噪声耦合,不过对此付出的代价是自谐振频率降低。用传统工艺制作的贴片电感,其Q值一般<10。为了提高电感的Q值,人们提出各种解决方案。
(1)降低串联电阻
通过采用高电阻率的金属,将金属层加厚等方法,减少串联电阻,所以采用顶层厚金属或多层并联贴片电感可以实现,Q值也可以提高数倍。然而,并联的层数功率电感生产厂家的增加也会引起氧化层电容的增加,所以存在着折衷的关系。同时,并联的金属层厚度大于趋肤厚度后,其效果也不甚明显。
(2)提高串联电感
贴片电感器厂 由于内层线圈对电感值的贡献小于外层线圈对电感值的贡献,以及对串联电阻、氧化层电容的减少有直接作用,所以空心电感比多圈电感的Q值要高。同样,采用串联堆叠电感也由于电感值的增加速度大于电阻值的增加速度而使Q值可提高n倍,n为堆叠层数。
(3)改变基底电阻率
高电阻率的基底可以提高贴片电感的品质因数。通过质子轰击技术可以生产半绝缘的硅基底,在质子轰击半绝缘硅基底上3μm厚铜电感的Q值,在1.5nH时最高可达45。通过加工工艺处理,获得多孔硅基底,减小基底损耗,提高电感的品质因数,在1.5GHz时,最大的品质因数可达45。通过将基底转换成高阻抗材料来降低基底损耗及相关转换工艺处理获得了5GHz时1nH的电感,其Q值达到25。在硅p/p+基底上制作的电感谐振频率超过了20GHz,在7GHz时,5.7nH的电感Q值达到了29。利用RF-MEMS技术获得微机械悬空电感,所得电感Q值超过了100。